基于多目标模板匹配的晶圆芯片检测方法

高德傲; 陈晓荣; 张驰艺; 祖赫阳; 顾徐镕; 董宏杰; 王元吉

doi:10.11907/rjdk.231076

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基于多目标模板匹配的晶圆芯片检测方法

图形图像处理 | 更新时间：2024-02-22

- 基于多目标模板匹配的晶圆芯片检测方法
- Wafer Detection Method Based on Multi-object Template Matching
- 软件导刊 2024年23卷第2期页码：146-152
- 作者机构：
  
  上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海 200093
- 作者简介：
  
  高德傲（1999-），男，上海理工大学光电信息与计算机工程学院硕士研究生，研究方向为计算机视觉与图像处理
  陈晓荣（1974-），女，博士，上海理工大学光电信息与计算机工程学院副教授、硕士生导师，研究方向为图像处理、在线检测、信号与信息处理。
  张驰艺（2002-），男，上海理工大学光电信息与计算机工程学院学生，研究方向为图像处理与在线检测。
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金面上项目(52175513)
- DOI：10.11907/rjdk.231076
  中图分类号：
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高德傲,陈晓荣,张驰艺等.基于多目标模板匹配的晶圆芯片检测方法[J].软件导刊,2024,23(02):146-152.

GAO Deao,CHEN Xiaorong,ZHANG Chiyi,et al.Wafer Detection Method Based on Multi-object Template Matching[J].Software Guide,2024,23(02):146-152.
高德傲,陈晓荣,张驰艺等.基于多目标模板匹配的晶圆芯片检测方法[J].软件导刊,2024,23(02):146-152. DOI： 10.11907/rjdk.231076.

GAO Deao,CHEN Xiaorong,ZHANG Chiyi,et al.Wafer Detection Method Based on Multi-object Template Matching[J].Software Guide,2024,23(02):146-152. DOI： 10.11907/rjdk.231076.

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